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    陶金靶材之反應式濺鍍製備氮摻雜氧化銦鎵鋅薄膜及其性質研究
    • 材料科學與工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 黃郁凱 指導教授: 郭東昊
    • 本論文以本實驗室自行壓製陶金(陶瓷+金屬)靶材,採用RF反應式濺鍍法製備N摻雜的IGZO薄膜,以N取代O的位置,期望提高IGZO薄膜內的氮含量來提升載子遷移率及提升電性穩定性。實驗中,觀察在不同氧氣…
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